NF X10-507-1975 真空技术.喷射离子泵.功能特性的测定
作者:标准资料网 时间:2024-05-20 15:08:33 浏览:8844
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【英文标准名称】:Vacuumtechnology-Sputter-ionpumps-Measurementofperformancecharacteristics.
【原文标准名称】:真空技术.喷射离子泵.功能特性的测定
【标准号】:NFX10-507-1975
【标准状态】:作废
【国别】:法国
【发布日期】:1975-11-01
【实施或试行日期】:1975-11-07
【发布单位】:法国标准化协会(FR-AFNOR)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:压力测量;压力测量(流体);真空工程;真空设备;真空装置;真空泵;离子泵;通量;试验;性能评定;性能试验;真空技术;流量率;流量测量;测量
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:J78
【国际标准分类号】:23_160
【页数】:7P.;A4
【正文语种】:其他
【原文标准名称】:真空技术.喷射离子泵.功能特性的测定
【标准号】:NFX10-507-1975
【标准状态】:作废
【国别】:法国
【发布日期】:1975-11-01
【实施或试行日期】:1975-11-07
【发布单位】:法国标准化协会(FR-AFNOR)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:压力测量;压力测量(流体);真空工程;真空设备;真空装置;真空泵;离子泵;通量;试验;性能评定;性能试验;真空技术;流量率;流量测量;测量
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:J78
【国际标准分类号】:23_160
【页数】:7P.;A4
【正文语种】:其他
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